[发明专利]一种有机超晶格锐钛型钛化氧化钨薄膜红外光敏材料的制备方法有效

专利信息
申请号: 201610821665.8 申请日: 2016-09-14
公开(公告)号: CN106469645B 公开(公告)日: 2019-03-29
发明(设计)人: 刘士彦;张依;姚博 申请(专利权)人: 绍兴文理学院
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;B82Y30/00
代理公司: 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 代理人: 李静
地址: 312000 浙江省绍兴市*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种有机超晶格锐钛型钛化氧化钨薄膜红外光敏材料的制备方法,其步骤如下:步骤1,制备钨镀膜液;步骤2,得到二氧化钛镀膜液;步骤3,制备改性液;步骤4,将基底材料浸泡至钨镀膜液中,搅拌均匀后,在烘箱内烘干,得到钨膜;步骤5,将钨膜浸泡至二氧化钛镀膜液中,然后快速冷却,形成纳米二氧化钛前驱薄膜;步骤6,将步骤5中的薄膜基底材料进行高温烧结,形成纳米二氧化钛‑氧化钨薄膜;步骤7,将步骤6的薄膜浸泡至步骤3中乙醇水溶液中,多次微沸蒸煮,捞出后,快速固化;步骤8,步骤7中的薄膜材料退火处理得到产品。本发明制备方法简单,解决了钛化和氧化钨薄膜材料的平整度和均匀性低、缺陷大、粗糙度高等问题。
搜索关键词: 一种 有机 晶格 锐钛型钛化 氧化钨 薄膜 红外 光敏 材料 制备 方法
【主权项】:
1.一种有机超晶格锐钛型钛化氧化钨薄膜红外光敏材料的制备方法,其步骤如下:步骤1,将钨酸铵、氯化钨放入至碱性溶液中,加入纳米发泡剂,形成钨镀膜液;步骤2,将钛酸正丁酯、稳定剂、溶解液、酸化剂和渗透剂放入搅拌釜中,搅拌均匀即可得到二氧化钛镀膜液;步骤3,将无机改性剂与有机金属改性剂作为材料,浸泡至乙醇水溶液,得到改性液;步骤4,将基底材料浸泡至钨镀膜液中,搅拌均匀后,在烘箱内烘干,得到钨膜;步骤5,将钨膜浸泡至二氧化钛镀膜液中,然后快速冷却,形成纳米二氧化钛前驱薄膜;步骤6,将步骤5中的薄膜基底材料进行高温烧结,形成纳米二氧化钛‑氧化钨薄膜;步骤7,将步骤6的薄膜浸泡至步骤3中乙醇水溶液中,多次加热蒸煮,捞出后,快速固化;步骤8,步骤7中的薄膜材料退火处理得到产品;所述步骤2中的配方为钛酸正丁酯11‑15份、稳定剂3‑5份、溶解液40‑60份、酸化剂0.3‑1.0份、渗透剂2‑3份;所述稳定剂采用乙酸丙酮,所述溶解液采用乙酸乙酯或异丙醇,所述酸化剂采用乙酸、盐酸或硫酸中的一种,渗透剂采用脂肪醇聚氧乙烯醚;所述步骤7中的浸泡时间为12‑18min,蒸煮的温度为100‑120℃,次数为2‑10次。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于绍兴文理学院,未经绍兴文理学院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610821665.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top