[发明专利]采用温度敏感的纳米线冷阴极的平板X射线源及制备方法

摘要

本发明公开了采用温度敏感的纳米线冷阴极的平板X射线源及制备方法，所述平板X射线源，包括阴极基板、阳极基板、高压绝缘隔离体；所述阴极基板和阳极基板平行相对设置，所述高压绝缘隔离体设置于阴极基板和阳极基板的边缘，并且高压绝缘隔离体、阴极基板、阳极基板围合形成一空腔；所述阴极基板朝向阳极基板的一侧设置有纳米线冷阴极，所述纳米线冷阴极为氧化锌、氧化铜、氧化钨、氧化钼、氧化铁、氧化钛或者氧化锡纳米线。相对于现有技术，本发明的平板X射线源，通过控制纳米线冷阴极的温度，在不改变平板X射线源的阴极基板和阳极基板间距的情况下，实现对平板X射线源工作电压、电流和辐射剂量率的调控，降低了平板X射线源电流调节的局限性，拓宽了平板X射线源的应用范围。

主权项

1.采用温度敏感的纳米线冷阴极的平板X射线源，其特征在于：包括阴极基板、阳极基板、高压绝缘隔离体、加热单元；所述阴极基板和阳极基板平行相对设置，所述高压绝缘隔离体设置于阴极基板和阳极基板的边缘，并且高压绝缘隔离体、阴极基板、阳极基板围合形成一空腔；所述阴极基板朝向阳极基板的一侧设置有纳米线冷阴极，所述纳米线冷阴极为氧化锌、氧化铜、氧化钨、氧化钼、氧化铁、氧化钛或者氧化锡纳米线；所述加热单元对阴极基板加热，通过调控所述纳米线冷阴极的温度，在不改变平板X射线源的阴极基板和阳极基板间距的情况下，实现对平板X射线源工作电压、电流和辐射剂量率的调控；所述加热单元包括加热片、均热板和热电偶；所述加热片和均热板层叠设置，所述热电偶与所述加热片接触连接；所述均热板贴合于所述阴极基板的阴极衬底。