[发明专利]一种硅片或电池片传输机构在审
申请号: | 201610825094.5 | 申请日: | 2016-09-14 |
公开(公告)号: | CN106628852A | 公开(公告)日: | 2017-05-10 |
发明(设计)人: | 樊坤;郭立;禹庆荣;曹骞;尹昊 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | B65G21/00 | 分类号: | B65G21/00;B65G23/24;B65G23/44;H01L21/677 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008 | 代理人: | 周长清,徐好 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种硅片或电池片传输机构,包括依次布置的主动轮支撑组件、隔振组件、从动轮支撑组件及至少一组传输组件,所述传输组件包括设于主动轮支撑组件上的主动轮、设于从动轮支撑组件上的从动轮及连接主动轮和从动轮的传输带,所述主动轮支撑组件和隔振组件之间设有减振阻尼器,所述隔振组件和从动轮支撑组件之间固设有防抖板,所述防抖板与所述传输带的下表面紧贴,本发明具有结构简单、传输速度快、重复性定位精度高等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 电池 传输 机构 | ||
【主权项】:
一种硅片或电池片传输机构,其特征在于:包括依次布置的主动轮支撑组件(1)、隔振组件(2)、从动轮支撑组件(3)及至少一组传输组件(4),所述传输组件(4)包括设于主动轮支撑组件(1)上的主动轮(41)、设于从动轮支撑组件(3)上的从动轮(42)及连接主动轮(41)和从动轮(42)的传输带(43),所述主动轮支撑组件(1)和隔振组件(2)之间设有减振阻尼器(6),所述隔振组件(2)和从动轮支撑组件(3)之间固设有防抖板(7),所述防抖板(7)与所述传输带(43)的下表面紧贴。
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