[发明专利]半导体测试设备和方法、以及数据分析设备有效
| 申请号： | 201610825847.2 | 申请日： | 2016-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN107064782B | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 李淳永;裵相右 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/303 | 分类号： | G01R31/303;G01R31/3181;G01R31/00;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邵亚丽;曹瑜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种半导体测试设备，其包括：致动器，其保持辐射源并调整所述辐射源与样品之间的距离；以及控制器，其控制所述致动器的操作，并基于所述辐射源与所述样品之间的距离来计算所述样品的软错误率(SER)。所述控制器计算所述样品的SER在该处变为零的、所述辐射源与所述样品之间的第一距离，并基于所述第一距离来计算所述样品的金属‑介电比。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 测试 设备 方法 以及 数据 分析 | ||
【主权项】：
一种半导体测试设备，包括：致动器，其保持辐射源并调整所述辐射源与样品之间的距离；以及控制器，其控制所述致动器的操作，并基于所述辐射源与所述样品之间的距离来计算所述样品的软错误率(SER)，其中，所述控制器计算所述样品的SER在该处变为零的、所述辐射源与所述样品之间的第一距离，并基于所述第一距离来计算所述样品的金属‑介电比。
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