[发明专利]用于装配微透镜阵列组件的方法和系统有效
| 申请号： | 201610826715.1 | 申请日： | 2016-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN107843966B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 袁晓峰;伍强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;B32B37/12 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘倜 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于装配微透镜阵列组件的方法和系统，涉及半导体技术领域。其中，所述微透镜阵列组件包括至少两个阵列元件，所述至少两个阵列元件包括第一阵列元件和第二阵列元件，所述方法包括：将所述第一阵列元件吸附在移动平台上；利用夹具平台吸附所述第二阵列元件，将所述第二阵列元件与所述第一阵列元件对准，所述对准包括粗对准和细对准；其中，根据所述第二阵列元件和第一阵列元件的边缘将所述第二阵列元件与所述第一阵列元件粗对准，根据所述第二阵列元件和第一阵列元件的阵列图形将所述第二阵列元件与所述第一阵列元件细对准；将对准后的所述第二阵列元件与所述第一阵列元件结合。本发明可以实现多层阵列元件的对准。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 装配 透镜 阵列 组件 方法 系统 | ||
【主权项】：
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