[发明专利]一种漏孔漏率测量装置在审
| 申请号： | 201610826850.6 | 申请日： | 2016-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN106679897A | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 王旭迪;魏本猛;尉伟;邱克强;寇钰;董栋;李鑫;孟智鹏 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明一种漏孔漏率测量装置属于泄漏检测技术领域，它涉及对漏孔漏率进行测量的一种测量装置；通过引入一个与测量室体积、材料和处理方式完全一样的参考室，可以降低本底放气以及环境温度变化的对测量精度的影响；该装置为全金属真空系统，包括全金属阀门和金属波纹管等真空元件，全金属真空系统可以降低由于小分子气体渗透导致的误差，实现精确测量漏孔漏率的目的。利用本装置可以实现精确测量漏孔漏率的目的；一种漏孔漏率测量装置包括隔膜泵和涡轮分子泵组成的抽气机组、全金属角阀和旋塞阀、气瓶、流量计、绝对真空计、稳压室、测量室、参考室、漏孔漏率测量单元、差压计；利用本发明可以精确测量漏孔漏率，操作过程简单且可以进行重复测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 漏孔 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种漏孔漏率测量装置，其特征在于一种漏孔漏率测量装置包括参考室(1)、第一阀门(2)、第二阀门(3)、差压计(4)、测量室(5)、第四阀门(6)、测量单元(7)、第五阀门(8)、绝对真空计(9)、稳压室(10)、针阀(11)、流量计(12)、气瓶(13)、第六阀门(16)、第三阀门(17)、抽气机组(18)；所述的气瓶(13)通过流量计(12)、针阀(11)与稳压室(10)相连，稳压室(10)上安装有绝对真空计(9)，抽气机组(18)通过第六阀门(16)与稳压室(10)相连、通过第三阀门(17)与参考室(1)相连，测量单元(7)通过第四阀门(6)与测量室(5)相连，通过第五阀门(8)与稳压室(10)相连，参考室(1)通过第一阀门(2)和第二阀门(3)与测量室(5)相连，参考室(1)与测量室(5)之间接有差压计(4)。
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