[发明专利]电子单机产品的正压泄复压试验系统及试验方法

摘要

本发明提出了一种电子单机产品的正压泄复压试验方法及系统，包括容器分系统、正压试验分系统、测量和控制分系统，其中正压试验分系统由安全阀、高精度压力传感器、质量流量控制器、气体管路和手动阀组成；测量和控制系统能够实现真空度、压力数据的实时显示、储存，实现设备运行状态参数的传递和质量流量控制器流量控制等功能。本发明可检验电子设备或密封设备在常温或低温条件下能否耐受正压及其压力快速变化过程，以及在泄复压过程中的环境适应性，可实现泄复压速率的精确控制，解决正压试验容器密封保压难题。

主权项

1.电子单机产品的正压泄复压试验系统，包括容器分系统、正压试验分系统、测量和控制分系统，其中，容器分系统为不锈钢材质卧式可移动无油压力容器，内部工作介质为干燥空气或氮气，正压试验分系统由安全阀、压力表、质量流量控制器、气体管路和各个手动阀组成，压力容器上设置压力表，并依次通过阀门一、阀门三、质量流量控制器和阀门六进行气体管路连接，阀门一和阀门三之间通过阀门二、阀门五连通到质量流量控制器与阀门六之间的气体管路上，氮气源通过阀门四连通到阀门三与质量流量控制器之间，测量和控制分系统对压力容器的真空度、质量流量控制器的流量和各阀门的开关进行控制，实现压力数据的实时显示、储存，设备运行状态参数的传递。