[发明专利]基于热释胶带的二维过渡金属硫属化合物转移方法

摘要

本发明公开了一种基于热释胶带的二维过渡金属硫属化合物转移方法，本发明解决传统转移方法工艺繁琐，转移样品完整性不高的问题，其实现方案是：1)在衬底上生长有二维过渡金属硫属化合物的样片上进行光刻胶旋涂，并使用50～60℃的KOH水溶液对样片进行刻蚀；2)用热释胶带紧贴经过1)处理后的样片，随后剥离热释胶带，得到依次为热释胶带、光刻胶和二维过渡金属硫属化合物的堆叠结构，并将带有该结构的热释胶带紧贴于提前选择并清洁过的目标衬底上；3)利用加热台加热剥离热释胶带，再用丙酮去除目标衬底上的光刻胶并将其用氮气吹干，转移结束。本发明具有工艺简单，转移完整，对样片要求低，衬底可重复利用的优点，可用于二维纳米材料的加工。

主权项

一种基于热释胶带的二维过渡金属硫属化合物转移方法，包括如下步骤：(1)在光镜下观察于衬底上生长了二维过渡金属硫属化合物的样片，标定转移区域并拍摄照片；(2)用氮气枪清洁样片表面，并将其置于加热台上加热至100℃～120℃；(3)向样片表面滴2到3滴光刻胶，使其覆盖面积略大于样片表面积的一半，然后将样片置于旋涂机上旋涂，使滴上的光刻胶均匀分布在样片表面，随后将样片置于160～180℃的加热台上进行一次加热后，再次向样片表面滴2滴光刻胶，对样片进行二次旋涂并将其置于160℃～180℃加热台上进行二次加热，之后从热板上取下样片；(4)将样片置于40～60℃的KOH水溶液中刻蚀4～8min后，用纯水冲洗干净并用氮气枪将其吹干，再将热释胶带紧贴于该样片上；(5)选择表面平整无划痕的衬底做目标衬底，使用纯水、丙酮、异丙醇依次对其进行超声清洗5～10min；(6)把热释胶带沿样片边缘缓慢撕下，得到依次为热释胶带、光刻胶和二维过渡金属硫属化合物的堆叠结构，随后将带有该结构的热释胶带紧贴于步骤(5)得到的目标衬底上；(7)将贴有热释胶带的目标衬底置于加热台上加热至120℃～140℃，使热释胶带受热卷曲，与目标衬底分离；(8)将目标衬底浸泡在40℃～50℃丙酮中3～5min，然后将其浸泡在异丙醇中1～3min，除去其表面的光刻胶，再使用氮气枪将目标衬底吹干，完成转移。