[发明专利]一种基板加电探针组件有效
| 申请号： | 201610832542.4 | 申请日： | 2016-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN106125372B | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 张伟基 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/1337 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板加电探针组件，包括外壳和探针，所述外壳内从前至后依次设有导电腔、气压腔，在外壳上设有进气口，进气口上设置有气动调节阀，气压腔内设有运动导电基座，运动导电基座的后端设有活塞胶垫，外壳的前端面设有伸出口，运动导电基座的前端从伸出口伸出，探针与运动导电基座的前端之间可拆卸地活动连接；外壳上位于导电腔处设有与运动导电基座连接的导线；在外壳的后端面上设有排气孔。与现有技术相比，避免出现功能退化、摩擦损耗的问题；探针可拆卸，探针结构简化利于增加使用寿命，降低单次更换成本，并便于调节探针扎针力度，提升制程能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基板加电 探针 组件 | ||
【主权项】：
1.一种基板加电探针组件，包括外壳(1)和探针(2)，其特征在于：所述外壳(1)内从前至后依次设有导电腔(7)、气压腔(3)，所述导电腔(7)与气压腔(3)连通，气压腔(3)以及导电腔(7)均沿外壳(1)的轴线方向设置，在外壳(1)上设有供压缩气体进入并且与气压腔(3)连通的进气口，进气口上设置有气动调节阀(4)，所述气压腔(3)内设有可沿气压腔(3)的轴向移动的运动导电基座(5)，在运动导电基座(5)的后端设有活塞胶垫(6)，活塞胶垫(6)的四周与气压腔(3)的内壁接触，所述外壳(1)的前端面设有与导电腔(7)连通的伸出口(9)，运动导电基座(5)的前端经导电腔(7)从伸出口(9)伸出外壳(1)外，所述探针(2)可拆卸地活动连接在运动导电基座(5)的前端上；在外壳(1)上位于导电腔(7)处设有一端设于外壳(1)外、另一端伸入导电腔(7)内与运动导电基座(5)连接的导线(10)；在外壳(1)的后端面上设有排气孔(11)。
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