[发明专利]一种光致抗蚀剂组合物及其用途在审
| 申请号： | 201610836221.1 | 申请日： | 2016-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN106338887A | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 王俊峰;刘启升;张明;杨遇春 | 申请（专利权）人： | 深圳市容大感光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司11285 | 代理人： | 钟守期,王媛 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物，其包含(A)20‑75重量％的可碱水溶性光固化树脂，(B)3‑20重量％的功能性单体，(C)3‑14重量％的环氧树脂，(D)2‑10重量％的光引发剂，(E)15‑30重量％的填料，(F)4‑25重量％的溶剂，和(G)1‑10重量％的添加剂，其中，各组分重量百分比均基于组合物的总重量计，且各组分重量百分比之和为100重量％；本发明还涉及所述的光致抗蚀剂组合物用于图案蚀刻的用途。所述光致抗蚀剂组合物可耐强碱性蚀刻且满足厚层蚀刻工艺要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光致抗蚀剂 组合 及其 用途 | ||
【主权项】：
一种光致抗蚀剂组合物，其包含：(A)20‑75重量％的可碱水溶性光固化树脂，(B)3‑20重量％的功能性单体，(C)3‑14重量％的环氧树脂，(D)2‑10重量％的光引发剂，(E)15‑30重量％的填料，(F)4‑25重量％的溶剂，和(G)1‑10重量％的添加剂，其中，各组分重量百分比均基于组合物的总重量计，且各组分重量百分比之和为100重量％。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市容大感光科技股份有限公司，未经深圳市容大感光科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610836221.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：着色感光性树脂组合物
- 下一篇：一种无源基底交接机构及方法
