[发明专利]一种同时测量相位和古斯-汉欣位移的方法及装置有效
| 申请号： | 201610836571.8 | 申请日： | 2016-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN106247953B | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 张志伟;张文静;孙运强;蔡睿博;刘霞 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01J9/02 |
| 代理公司： | 山西五维专利事务所(有限公司) 14105 | 代理人： | 李印贵 |
| 地址： | 030051 山西省太原*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明一种同时测量相位和古斯‑汉欣位移的方法及装置，特点是激光束通过偏振分光器后分成两束光TM和TE光，两光束分别通过两个不同驱动频率的声光调制器，产生的两个衍射光进入合光器合成两束光，一束光在光电探测器光敏面上发生干涉形成参考信号；另一束光经过克莱切曼结构后再经过分光器形成两束光，一束光在光电探测器光敏面上发生干涉形成相位测量信号，测量信号和参考信号经带通滤波、相位解调及数据采集和处理后，获得相位的测量值；另一束光经过检偏器，通过调整检偏器先后得到TE和TM光，两光点的位置经数据采集和处理后，得到古斯‑汉欣位移值；本装置能实现对折射率快速变化介质的高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 同时 测量 相位 位移 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种同时测量相位和古斯‑汉欣位移的方法，其特征在于：激光束通过偏振分光器后分成TM光与TE光，两光束分别通过两个不同驱动频率的声光调制器，产生的两个+1级衍射光进入合光器合成两束光，一束光在光电探测器光敏面上发生干涉形成相位参考信号；另一束光经过克莱切曼结构后再经过分光器形成两束光，其中：一束光在光电探测器光敏面上发生干涉形成相位测量信号，相位测量信号与参考信号经带通滤波、相位解调及数据采集与处理后，获得相位的测量值；另一束光经过检偏器，通过调整检偏器先后得到TE与TM光，两光点的位置经数据采集与处理后，得到古斯‑汉欣位移测量值。
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