[发明专利]硅微机械谐振式加速度计集成测控装置在审
| 申请号： | 201610837700.5 | 申请日： | 2016-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN106248995A | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 夏国明;赵阳;裘安萍;施芹 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心32203 | 代理人： | 吴茂杰 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种硅微机械谐振式加速度计集成测控装置，包括第一振荡电路(302)、第二振荡电路(303)、第一频率测量电路(304)、第二频率测量电路(305)和SPI数字接口(306)；所述第一振荡电路(302)、第二振荡电路(303)，用于通过静电驱动、电容检测的方式控制微机械谐振梁在其谐振频率按照设定的位移保持等幅振动，所述第一频率测量电路(304)、第二频率测量电路(305)，用于测量振荡电路输出的模拟振荡信号的频率并以数字信号输出；所述SPI数字接口(306)，用于向嵌入式处理器(307)传输两路频率测量数字信号。本发明体积小、功耗低、噪声小。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 谐振 加速度计 集成 测控 装置 | ||
【主权项】：
一种硅微机械谐振式加速度计集成测控装置，其特征在于：包括第一振荡电路(302)、第二振荡电路(303)、第一频率测量电路(304)、第二频率测量电路(305)和SPI数字接口(306)；所述第一频率测量电路(304)的输入端与第一振荡电路(302)的输出端相连，其输出端与SPI数字接口(306)的第一输入端相连，所述第一振荡电路(302)的输入端用于与硅微机械谐振式加速度计(301)的一个微机械谐振器电连接，所述第二频率测量电路(305)的输入端与第二振荡电路(303)的输出端相连，其输出端与SPI数字接口(306)的第二输入端相连，所述第二振荡电路(303)的输入端用于与硅微机械谐振式加速度计(301)的另一个微机械谐振器电连接，所述SPI数字接口(306)的输出端用于与嵌入式处理器(307)电连接；所述第一振荡电路(302)、第二振荡电路(303)，用于通过静电驱动、电容检测的方式控制微机械谐振梁在其谐振频率按照设定的位移保持等幅振动，所述第一频率测量电路(304)、第二频率测量电路(305)，用于测量振荡电路输出的模拟振荡信号的频率并以数字信号输出；所述SPI数字接口(306)，用于向嵌入式处理器(307)传输两路频率测量数字信号。
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