[发明专利]一种基于纳米导电材料的柔性应力传感器的制备方法

摘要

本发明公开一种基于导电纳米材料的柔性微薄膜表面应力生物传感器的制备方法。具体以一种简单的方法将导电纳米材料于柔性基地相结合，进一步提高应力传感器的灵敏度以及伸缩性能，首先以柔性材料（如PDMS）为原料作出具有凹槽的柔性模版；接着用导电纳米材料（如碳纳米管、银纳米线）填充到上述模板的凹槽中；在填充的纳米导电材料两端引出电极；最后用柔性聚合物材料（如PDMS等）在上层固定纳米材料及电极，增强结构稳定性（此步骤可根据现实需求省略）。本发明方法工艺简单、成本低廉、可控性强，制备得到的基于导电纳米材料的柔性应力传感器的灵敏度高、稳定性强、伸缩性好，为实现微型化、低成本、批量化生产提供了可能。

主权项

1.一种基于导电纳米材料的柔性应力传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1）取一个平底容器，在平底容器中心放一个薄片；2）配置PDMS溶液，取主剂与固化剂质量比为10:1置于培养皿中混合均匀，利用真空干燥箱抽真空10min，使混合液中的气泡破裂得到表面无气泡的PDMS溶液；3）取步骤2）制得的PDMS溶液加入到步骤1）中准备好的平底容器中，使PDMS溶液将薄片覆盖；4）静置流平后将盛有PDMS和薄片的平底容器放入70^oC的干燥箱中加热1.5h，PDMS溶液形成PDMS薄膜；5）取出平底容器中的PDMS薄膜，去掉薄片，便得到了具有凹槽的PDMS柔性模板；6）在PDMS柔性模板凹槽的两个对边分别引出一个电极后，在凹槽中填充纳米导电材料；7）待填充纳米导电材料后的PDMS柔性模板彻底干燥后，配置PDMS溶液，方法如步骤2），在填充有纳米导电材料的PDMS薄膜的那层表面上滴一层PDMS，利用真空干燥箱抽真空10min，静置流平后将装有PDMS柔性模板的容器放入70^oC的干燥箱中加热1h，得到复合薄膜柔性应力传感器。