[发明专利]一种光学关键尺寸测量系统及其方法有效
| 申请号： | 201610838777.4 | 申请日： | 2016-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN107843190B | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 陈慧萍;张振生;施耀明;徐益平 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供了一种测量器件的方法及其装置，其中包括步骤：采集被测器件的测量光谱；采集入射光的信息；采集被测器件的形貌信息；在理论数据库中找出匹配所述测量光谱的形貌结果。通过本发明避免了当入射光发生轻微变动时重新建立理论数据库，提高了光学测量的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 关键 尺寸 测量 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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