[发明专利]一种提高磁控管输出功率稳定性的控制方法及系统有效
| 申请号： | 201610841128.X | 申请日： | 2016-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN106298408B | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 吕炜;杨汶佼;赖晓健;郭淳;陈挺 | 申请（专利权）人： | 浙江全世科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J25/50 | 分类号： | H01J25/50 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 310053 浙江省杭州市滨江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种提高磁控管输出功率稳定性的控制方法，包括步骤：预设磁控管输出功率检测点，标定磁控管在输出功率检测点处的工作阳极电压和阳极电流；校准功率检测点处的实际工作阳极电压和阳极电流是否与标定的工作阳极电压和阳极电流一致，若不一致，基于PID控制补偿磁控管在功率检测点处的磁场场强，根据补偿后的磁场场强调节实际工作阳极电压和阳级电流。通过补偿磁场场强调节实际工作阳极电压和阳极电流，使得实际工作阳极电压和阳极电流与标定的工作阳极电压和阳极电流一致，从而确保磁控管输出功率稳定性，进一步，通过采用补偿磁场场强的方式实现磁控管长期工作一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 磁控管 输出功率 稳定性 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种提高磁控管输出功率稳定性的控制方法，其特征在于，包括步骤：根据磁控管输出功率由低至高依次设置多个输出功率检测点，再标定磁控管在各个所述输出功率检测点处的工作阳极电压和阳极电流，并将标定的工作阳极电压与阳极电流一一对应的存储于标定表；校准所述输出功率检测点处的实际工作阳极电压和阳极电流是否与所述标定的工作阳极电压和阳极电流一致，若不一致，基于PID控制补偿磁控管在所述功率检测点处的磁场场强，根据补偿后的磁场场强调节所述实际工作阳极电压和阳极电流，具体为：获取磁控管在所述输出功率检测点处的实际工作阳极电压和阳极电流；判断实际工作阳极电压和阳极电流是否与所述标定表中的工作阳极电压和阳极电流一致；若不一致，将实际工作阳极电压反馈于PID控制器，通过PID控制器计算出调节电压，并将所述调节电压输入至电磁铁可调电源；所述电磁铁可调电源获取所述调节电压后产生补偿场强，将所述补偿场强输入至所述磁控管；所述磁控管根据补偿后的场强调节所述实际工作阳极电压和阳极电流。
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