[发明专利]一种中温金属有机化学气相沉积TiO2-Al2O3复合涂层装置及涂覆方法

摘要

一种中温金属有机化学气相沉积AL₂O₃‑TiO₂复合涂层装置及涂覆方法，采用有机金属化学气相沉积方法和卧式炉装置，使用原料预混合在小型沉积室内部，实现在不锈钢表面，在250‑450℃温度范围内TiO₂‑Al₂O₃复合涂层的致密共沉积，达到抑制不锈钢表面结焦积碳的目的。

主权项

1.一种中温复合涂层化学气相共沉积装置，其特征在于该装置包括以下部件，净化部件，混气罐(10)，加热带(11)，石英玻璃管沉积室(12)，卧式电阻炉(13)和尾气吸收装置(14)；所述净化部件由依次连接的气源(1)、分子筛(2)、变色硅胶(3)、针型阀(4)和质量流量计(5)组成，所述气源(1)为高纯氩气；所述净化部件具有三个，第一净化部件的质量流量计(5)通过管道连接球阀(6)和混气罐(10)相连，第二净化部件的质量流量计(5)通过管道连接Ti源罐(7)，第三净化部件的质量流量计(5)通过管道连接Al源罐(8)，Ti源罐(7)和Al源罐(8)均与混气罐(10)相连，混气罐(10)的另一端通过管道连接置于卧式电阻炉(13)内的石英玻璃管沉积室(12)进口端，该石英玻璃管沉积室(12)的出口端与尾气吸收装置(14)相连；所述Ti源罐(7)，Al源罐(8)和卧式电阻炉(13)上连接温度控制表(9)；球阀(6)与混气罐(10)之间的连接管路，Ti源罐(7)与混气罐(10)之间的连接管路，Al源罐(8)与混气罐(10)之间的连接管路，混气罐(10)与石英玻璃管沉积室(12)进口端之间的连接管路均置于加热带(11)内，所述连接管路通过加热带加热保温。