[发明专利]具备在线监测功能的电子束快速成型设备及其运行方法

摘要

本发明公开一种具备在线监测功能的电子束快速成型设备及其运行方法，包括中央控制单元、电子枪电源、偏扫电源、工作台电源、电子枪、工作室、装粉箱、工作台、二次电子收集器和二次电子变送器；二次电子收集器接收电子束微束扫描过程产生的二次电子信息；二次电子变送器对上述二次电子信息进行整形放大后送入中央控制单元；中央控制单元对同步记录的二次电子信号进行分析处理，判断制造层是否存在缺陷。本发明利用二次反射电子信号对电子束快速成型设备制造元件过程进行质量在线监测，从而克服了光学监测手段易受污染的缺点。

主权项

具备在线监测功能的电子束快速成型设备，包括中央控制单元(1)、电子枪电源(2)、偏扫电源(3)、工作台电源(5)、电子枪(6)、工作室(7)、装粉箱(9)和工作台(10)；工作室(7)为密闭的真空腔体；装粉箱(9)和工作台(10)设置在工作室(7)之内，且装粉箱(9)位于工作台(1)的上方；电子枪(6)设置在工作室(7)之外，且电子枪(6)发出的电子束(11)进入工作室(7)并聚焦在工作台(10)的铺粉平台表面；中央控制单元(1)经电子枪电源(2)连接电子枪(6)；中央控制单元(1)经偏扫电源(3)连接电子枪内的偏扫装置(6)(1)；中央控制单元(1)经工作台电源(5)连接工作台(10)；中央控制单元(1)连接装粉箱(9)；其特征在于：还进一步包括二次电子收集器(8)和二次电子变送器(4)；二次电子收集器(8)设置在工作室(7)之内，并处于工作室(7)的电子束(11)入口处；二次电子变送器(4)设置在工作室(7)之外；二次电子收集器(8)经由二次电子变送器(4)与中央控制单元(1)连接；二次电子收集器(8)接收电子束(11)微束扫描过程产生的二次电子信息；二次电子变送器(4)对上述二次电子信息进行整形放大后送入中央控制单元(1)；中央控制单元(1)对同步记录的二次电子信号进行分析处理，判断制造层(13)是否存在缺陷。