[发明专利]光学层系统有效
| 申请号： | 201610843011.5 | 申请日： | 2016-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN106959478B | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 彼得·施佩克巴赫尔;斯特凡·丰克;克里斯蒂安·博梅尔 | 申请（专利权）人： | 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10;G02B1/11;G02B5/08;G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;李慧 |
| 地址： | 德国特劳*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于位置测量装置的光学层系统，利用该系统能够在透明的基板(S)的表面上提供具有相应不同的光学功能的至少一个第一、第二和第三功能面(1，2，3)。这些功能面(1，2，3)由第一层堆叠(A)和第二层堆叠(B)形成。第一功能面(1)在整个面上由第一层堆叠(A)构成并且起到抗反射层作用，而第三功能面(3)在整个面上由第二层堆叠(B)构成并且起到镜面作用。通过将这两个层堆叠(A，B)周期性地交替布置的方式，第二功能面(2)起到光栅作用。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 系统 | ||
【主权项】：
一种用于位置测量装置的光学层系统，利用所述光学层系统在透明的基板(S)的表面上提供具有相应的不同光学功能的至少一个第一功能面(1)、第二功能面(2)和第三功能面(3)，其特征在于，这些功能面(1，2，3)由第一层堆叠(A)和第二层堆叠(B)构成。
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