[发明专利]一种大尺寸蓝宝石退火工艺加工方法

摘要

本发明公开的一种大尺寸蓝宝石退火工艺加工方法，采用多级真空退火工艺进行退火处理，较以往的有氧退火相比，晶片在惰性环境中受热分布均匀，热量损失较少，且分为30阶段，逐步进行升、降温，温度逐级控制，蓝宝石内部温差少、应力消除快，综上所述，本发明适用于大尺寸蓝宝石退火处理，可有效消除蓝宝石的残余应力，消除速度快，且不易引起蓝宝石开裂，降低了生产成本，有助于提高大尺寸蓝宝石的加工效率，提升晶片质量。

主权项

一种大尺寸蓝宝石退火工艺加工方法，其特征在于，包括以下具体步骤：1、首先将晶片放入退火容器中，然后放入真空退火炉内；2、对真空退火炉进行抽真空，使真空退火炉内部产生真空状态，使温度分部均匀，温度损失降到最低，实际温差少；3、启动真空退火炉，采用多级退火工艺，对大尺寸蓝宝石进行退火处理；所述的多级退火工艺，包括42个阶段，其中，第一阶段：真空退火炉持续升温，由室温升温至300℃，持续2min；第二阶段：真空退火炉持续升温，由300℃升温至600℃，持续2min，升温速率为150℃/min；第三阶段：真空退火炉持续升温，由600℃升温至1000℃，持续2min，升温速率为200℃/min；第四阶段：真空退火炉持续升温，由1000℃升温至1400℃，持续2min，升温速率为200℃/min；第五阶段：真空退火炉在1400℃保温，持续4min；第六阶段：真空退火炉持续升温，由1400℃升温至1500℃，持续2min，升温速率为50℃/min，；第七阶段：真空退火炉在1500℃保温，持续2min；第八阶段：真空退火炉持续升温，由1500℃升温至1680℃，持续2min，升温速率为90℃/min；第九阶段：真空退火炉在1680℃保温，持续22min；第十阶段：真空退火炉开始缓慢降温，由1680℃降温至1630℃，持续2min，降温速率为25℃/min；第十一阶段：真空退火炉缓慢降温，由1630℃降温至1580℃，持续2min，降温速率为35℃/min；第十二阶段：真空退火炉缓慢降温，由1580℃降温至1530℃，持续2min；第十三阶段：真空退火炉缓慢降温，由1530℃降温至1480℃，持续2min；第十四阶段：真空退火炉缓慢降温，由1480℃降温至1430℃，持续2min；第十五阶段：真空退火炉缓慢降温，由1430℃降温至1380℃，持续2min；第十六阶段：真空退火炉缓慢降温，由1380℃降温至1330℃，持续2min；第十七阶段：真空退火炉缓慢降温，由1330℃降温至1280℃，持续2min；第十八阶段：真空退火炉缓慢降温，由1280℃降温至1230℃，持续2min；第十九阶段：真空退火炉缓慢降温，由1230℃降温至1180℃，持续2min；第二十阶段：真空退火炉缓慢降温，由1180℃降温至1110℃，持续2min；第二十一阶段：真空退火炉缓慢降温，由1110℃降温至1040℃，持续2min；第二十二阶段：真空退火炉缓慢降温，由1040℃降温至970℃，持续2min；第二十三阶段：真空退火炉缓慢降温，由970℃降温至900℃，持续2min；第二十四阶段：真空退火炉缓慢降温，由900℃降温至830℃，持续2min；第二十五阶段：真空退火炉缓慢降温，由830℃降温至760℃，持续2min；第二十六阶段：真空退火炉缓慢降温，由760℃降温至690℃，持续2min；第二十七阶段：真空退火炉缓慢降温，由690℃降温至590℃，持续2min；第二十八阶段：真空退火炉缓慢降温，由590℃降温至490℃，持续2min；第二十九阶段：真空退火炉缓慢降温，由490℃降温至390℃，持续2min；第三十阶段：真空退火炉缓慢降温，由390℃降温至290℃，持续2min；4、待多级退火工艺完成后，取出大尺寸蓝宝石，置于室温中冷却至常温，即可。