[发明专利]一种金属荫罩及其制备方法有效
| 申请号： | 201610844430.0 | 申请日： | 2016-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN106350769B | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 潘仲光;陈霞玲;童圣智 | 申请（专利权）人： | 常州友机光显电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C25D1/10;C25D3/12 |
| 代理公司： | 北京太合九思知识产权代理有限公司 11610 | 代理人： | 刘戈 |
| 地址： | 213031 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种金属荫罩及其制备方法，所述方法包括：在100‑110℃下，以0.3‑0.4MPa的压力将感光膜贴覆在表面清洁平整的电铸基板上，形成具有感光层的电铸基板；以5‑30mj/cm2的曝光量，对所述感光层的预设区域进行曝光；将曝光后的具有感光层的电铸基板，进行显影、烘焙及浸洗处理，得到电铸阴极；使用所述电铸阴极进行电铸工艺，得到具有与所述预设区域图案匹配的金属荫罩。本发明实施例提供的金属荫罩及其制备方法，通过改变制膜的温度和压力增加感光膜在基板上的附着力，并通过优化曝光强度，实现在感光膜上制出微孔开口小至3μm的图形，从而制作得到开口尺寸在3‑40μm的金属荫罩。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种金属荫罩的制备方法，其特征在于，包括：在100‑110℃下，以0.3‑0.4MPa的压力将感光膜贴覆在表面清洁平整的电铸基板上，形成具有感光层的电铸基板；以5‑30mj/cm2的曝光量，对所述感光层的预设区域进行曝光；将曝光后的具有感光层的电铸基板，进行显影、烘焙及浸洗处理，得到电铸阴极；使用所述电铸阴极进行电铸工艺，所述电铸工艺以5‑25A/ft2的电流密度电铸18‑25min，其中以5‑10A/ft2的小电流慢镀3‑5min，然后增加电流密度至20‑25A/ft2镀15‑20min，得到具有与所述预设区域图案匹配的金属荫罩。
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