[发明专利]一种轧制加工钨钛合金靶材的制备方法

摘要

本发明属于有色金属靶材制备技术领域，具体涉及了一种轧制加工钨钛合金靶材的制备方法。该方法以W粉与TiH₂粉末为原料，依次经混合、压坯、预烧、烧结、包套、轧制、热处理步骤，最终得到所述钨钛合金靶材。本发明采用将W粉与TiH₂粉末混合后压制成型，压坯经过预烧还原和高温真空烧结，坯料带包套进行轧制的工艺；压坯经过预烧还原可以有效地降低坯料中的杂质含量和氧含量，再经高温真空烧结，可得到高纯度钨钛合金坯料；坯料带包套后可以在大气气氛加热炉内进行加热，避免坯料中Ti元素的加热氧化现象，保证轧制加工的顺利进行；最终得到靶材致密度可达到99.6％以上，厚度尺寸可控，工艺简单且适合大批量工业化生产。

主权项

1.一种轧制加工钨钛合金靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：混合步骤，按规定比例分别称取W粉与TiH2粉末，然后进行混合处理，得到W‑TiH2混合粉；压坯步骤，将所述W‑TiH2混合粉放入模具中加压成型，得到W‑TiH2坯料；预烧步骤，将所述W‑TiH2坯料进行预烧还原，得到还原坯料；烧结步骤，将所述还原坯料进行高温真空烧结，得到烧结坯料；包套步骤，将所述烧结坯料进行整形加工，然后用包套材料进行包套，得到包套坯料；轧制步骤，将所述包套坯料进行轧制，得到轧制坯料；所述轧制步骤中，在每轧制道次前坯料均需加热，所述加热的温度为900～1400℃，保温时间为10～90min，且首次加热的温度为1200～1400℃，保温时间为45～70min；热处理步骤，将所述轧制坯料的外层包套材料加工去除，然后进行热处理，得到所述钨钛合金靶材；所述热处理步骤在真空或惰性气体保护状态下的加热炉内进行，热处理温度为700℃～850℃，保温时间为1h～6h。