[发明专利]一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法

摘要

本发明提供的一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法，包括了制片、安装摆放垫与打孔、配制金刚石研磨液、加入金刚石研磨液、研磨与回收研磨液等步骤，步骤简单，制备方便，采用聚氨酯垫配合金刚石研磨液的加工方法，利用聚氨酯研磨垫硬度较低，表面有许多小孔，在研磨的过程中金刚石颗粒可以镶嵌在表面，有效的减少金刚石颗粒对晶片表面的磨损，有效的提高加工效率，提升晶片外观质量，大大降低了成本并且可回收利用。

主权项

一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法，其特征为，加工工艺如下：（1）制片：先通过切割将蓝宝石工件制成蓝宝石薄片，其中蓝宝石薄片的厚度为400‑500微米；（2）安装摆放垫与打孔：将聚氨酯垫分别粘贴在上盘面与下盘面上，同时利用美工刀片对盘面上的流砂进行开孔；（3）配制金刚石研磨液：将5%的金刚石研磨液与95%自制悬浮液混合进行反应，在20℃‑30℃下匀速搅拌15‑45min，制备成金刚石研磨液；（4）加入金刚石研磨液：加入金刚石研磨液，金刚石研磨液的流量保持在10‑20mL/min，使金刚石研磨液有效的分部在盘面的表面上；（5）研磨：打开研磨机进行研磨，研磨的时间为25‑35min，研磨机的压力为450‑550kg，研磨机的转速为25‑35转/min；（6）回收金刚石研磨液：研磨完成后对研磨机上的金刚石研磨液进行回收再利用。