[发明专利]一种蓝宝石和硅片用金刚线切片冷却液集成式处理方法

摘要

本发明涉及一种蓝宝石和硅片用金刚线切片冷却液集成式处理方法，其处理方法如下：（1）由第一管路将切片机排出的废弃冷却液输送至储存罐，（2）由板框压滤机进行压滤除去冷却液中的固体废弃物，（3）由精密过滤罐进行精密过滤去除冷却液中的细小颗粒和金属离子，（4）由第四管路将经精密过滤罐处理的冷却液输送至调配罐，控制PLC控制器使冷却液补充系统对调配罐补充冷却液，随后由成品罐通过第五管路将冷却液输送至若干切片机内；本发明可形成冷却液循环使用，利于提高加工品质质量、降低设备故障及切换时间、降低产品制造成本，减少水处理的环境污染。

主权项

1.一种蓝宝石和硅片用金刚线切片冷却液集成式处理方法，其特征为，其处理方法如下：（1）将若干切片机通过第一管路与储存罐相连，由第一管路将切片机排出的废弃冷却液输送至储存罐；（2）将储存罐通过第二管路和浑水旁通管路与板框压滤机相连，由第二管路将储存罐内的冷却液输送至板框压滤机内，进行压滤除去冷却液中的固体废弃物，当压滤过程中未出现清水时，将冷却液从浑水旁通管路输送入储存罐；（3）将板框压滤机通过第三管路与精密过滤罐相连，通过第三管路将经板框压滤机处理后的冷却液输送至精密过滤罐，进行精密过滤去除冷却液中的细小颗粒和金属离子，所述精密过滤罐内设有精密过滤筒，所述精密过滤筒内设有孔径200um的过滤袋，进行一次过滤去除冷却液中的细小颗粒，所述精密过滤罐内设有吸附树脂层及活性炭吸附层，进行二次过滤去除冷却液中的金属离子；（4）将精密过滤罐通过第四管路与成品液管理系统相连，所述成品液管理系统包括调配罐、成品罐和PLC控制器，所述调配罐分别与成品罐和PLC控制器相连，所述调配罐和PLC控制器之间设有冷却液补充系统，所述成品罐通过第五管路与步骤(1)中的若干切片机相连，由第四管路将经精密过滤罐处理的冷却液输送至调配罐，控制PLC控制器使冷却液补充系统对调配罐补充冷却液，随后由成品罐通过第五管路将冷却液输送至若干切片机内，所述第一管路、第二管路、浑水旁通管路、第三管路、第四管路和第五管路上均设有电磁阀和水泵，所述电磁阀和水泵均与PLC控制器电连接。