[发明专利]光掩模集成微塑型方法有效
| 申请号： | 201610846947.3 | 申请日： | 2016-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN106292182B | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 李晖;陈静;张南南;王磊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种简单低成本、可提高生产效率的光掩模集成微塑型方法，其包括如下步骤：S101、在显微镜载玻片的表面涂覆形成牺牲层，并进行烘焙；S102、向微型模具的型腔内滴入光刻胶，并盖上冷却后的显微镜载玻片；S103、对微型模具先进行曝光前预加热，即在50℃～100℃范围内选择多个温度由低至高地依次烘烤；S104、让微型模具在紫外线光源照射下曝光，使型腔内的纳米复合材料固化；S105：对微型模具进行曝光后烘烤，即在50℃～100℃范围内选择多个温度由低至高地依次烘烤；S106、将微型模具冷却到室温后，从模具中脱模，移走载玻片和三维微结构，并除去未交联的薄膜；S107、冲洗三维微结构，并进行干燥。 | ||
| 搜索关键词： | 光掩模 集成 微塑型 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光掩模集成微塑型方法，其特征在于，包括如下步骤：S101、在显微镜载玻片的表面涂覆形成牺牲层，并进行烘焙；S102、向微型模具的型腔内滴入光刻胶，并盖上冷却后的显微镜载玻片，所述光刻胶为纳米复合材料；S103、对微型模具先进行曝光前预加热，所述预加热的操作为在50℃～100℃范围内选择多个温度由低至高地依次烘烤；S104、让微型模具在紫外线光源照射下曝光，使型腔内的纳米复合材料固化；S105：对微型模具进行曝光后烘烤，所述烘烤的操作为在50℃～100℃范围内选择多个温度由低至高地依次烘烤；S106、将微型模具冷却到室温后，从模具中脱模，移走显微镜载玻片和三维微结构，并除去未交联的薄膜；S107、冲洗三维微结构，并进行干燥。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院深圳先进技术研究院，未经中国科学院深圳先进技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610846947.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：在背光模块上自动嵌置光条的装置
- 下一篇：一种钓鱼灯架
