[发明专利]激光回馈干涉仪

摘要

本发明涉及一种激光回馈干涉仪，包括：正交偏振激光模块，用于同向输出两束空间上重合的正交偏振的激光；第一分光镜，设置于从所述正交偏振激光模块输出激光的光路上；第一偏振分光镜，设置于所述第一分光镜反射形成反射光的光路上；光电探测模块，设置于所述第一偏振分光镜输出的正交偏振光的光路上；声光移频模块，设置于第一分光镜透射的透射光的光路上；第二分光镜，设置于从声光移频模块出射的光路上；汇聚模块，设置于所述第二分光镜反射的激光的光路上；反射模块，用于将入射的光再次反射回正交偏振激光模块；第二偏振分光镜，设置于从所述第二分光镜透射的光路上，用于形成偏振态分离的参考光及测量光。本发明提供的激光回馈干涉仪精度高。

主权项

1.一种激光回馈干涉仪，包括：正交偏振激光模块，用于同向输出两束正交偏振的激光，且两束正交偏振的激光在空间上重合；第一分光镜，设置于从所述正交偏振激光模块输出激光的光路上，用于对正交偏振激光模块输出的激光进行反射及透射，形成反射光及透射光；第一偏振分光镜，设置于所述第一分光镜反射形成反射光的光路上，并将所述反射光分为正交偏振的第一偏振光及第二偏振光，且按照偏振态在空间上将正交偏振的第一偏振光及第二偏振光分离；光电探测模块，设置于从所述第一偏振分光镜输出的正交偏振的第一偏振光及第二偏振光的光路上，用于探测第一偏振光及第二偏振光的光强，并将所述光强转换为电信号；声光移频模块，设置于从所述第一分光镜出射的透射光的光路上，用于对透射光进行移频，形成相差预定频率的第一透射光及第二透射光，所述第一透射光未发生移频；第二分光镜，设置于从声光移频模块出射的所述第一透射光及第二透射光的光路上，用于对声光移频模块出射的所述第一透射光及第二透射光进行反射及透射，所述第一透射光经过第二分光镜反射形成第一次级反射光；所述第二透射光经过所述第二分光镜的反射形成第二次级反射光，经过所述第二分光镜透射形成第二次级透射光；汇聚模块，设置于所述第二分光镜反射的激光的光路上，将所述第一次级反射光及第二次级反射光汇聚；反射模块，用于将所述第一次级反射光及第二次级反射光反射，并使所述第一次级反射光反射后，沿入射到所述反射模块的第二次级反射光的传输光路原路返回正交偏振激光模块；使所述第二次级反射光反射后，沿入射到所述反射模块的第一次级反射光的传输光路原路返回正交偏振激光模块；以及，第二偏振分光镜，设置于从所述第二分光镜透射的光的光路上，用于对从所述第二分光镜透射的第二次级透射光进行反射及透射以及偏振态分离，形成参考光及测量光，且所述参考光及测量光为正交偏振的偏振光。