[发明专利]一种测试基板翘曲的方法及装置在审
| 申请号： | 201610849025.8 | 申请日： | 2016-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN106482702A | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 郭瑞;贺良伟;徐磊;赵景训;卜凡中;俞凤至 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/32 | 分类号： | G01B21/32 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种测试基板翘曲的方法及装置，用以解决现有技术中基板翘曲测试多为静止、离线测试，鲜有在线测试，从而不利于提高薄膜基板品质监控效率的问题。该方法包括将基板接触单元向基板靠近，确定所述基板接触单元上设置的接触传感器接触到所述基板的板面时所经过的第一时间；在所述基板成膜后，将所述基板接触单元向成膜后基板靠近，确定所述接触传感器接触到所述成膜后基板的板面时所经过的第二时间；根据所述第一时间、所述第二时间和所述基板接触单元的运动速度，确定所述成膜后基板的翘曲量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 基板翘曲 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种测试基板翘曲的方法，其特征在于，包括：将基板接触单元向基板靠近，确定所述基板接触单元上设置的接触传感器接触到所述基板的板面时所经过的第一时间；在所述基板成膜后，将所述基板接触单元向成膜后基板靠近，确定所述接触传感器接触到所述成膜后基板的板面时所经过的第二时间；根据所述第一时间、所述第二时间和所述基板接触单元的运动速度，确定所述成膜后基板的翘曲量。
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