[发明专利]尺寸标准器的线膨胀系数测量方法及其测量装置、以及标准量规

摘要

本发明提供尺寸标准器的线膨胀系数测量方法及其测量装置、以及标准量规。将测量对象物（阶梯规（10））以及标准量规（标准量具（2））平行地支承在恒温槽（30）的内部，将恒温槽（30）的内部温度设为第1温度，将从标准量规的第1基准表面（2A）到第2基准表面（2B）的长度作为基准，对从测量对象物的第1表面（11）到第2表面（12）的长度进行比较测量，将恒温槽（30）的内部温度设为第2温度，同样将从第1基准表面（2A）到第2基准表面（2B）的长度作为基准，对从第1表面（11）到第2表面（12）的长度进行比较测量，根据第1温度下的测量对象物的长度和第2温度下的测量对象物的长度，算出测量对象物的线膨胀系数。

主权项

一种尺寸标准器的线膨胀系数测量方法，将尺寸标准器作为测量对象物，测量所述测量对象物的从第1表面到第2表面的部分的线膨胀系数，所述测量对象物的第1表面和第2表面沿所述测量对象物的延伸方向分开，其特征在于，在所述尺寸标准器的线膨胀系数测量方法中，准备：标准量规，其具有与所述第1表面以及所述第2表面相对应的第1基准表面以及第2基准表面，并且从所述第1基准表面到所述第2基准表面的长度已知；恒温槽，其能够容纳所述测量对象物以及所述标准量规，并且能够调整内部温度，且在测量用表面上具有测量用开口；测量对象物支承台，其设置在所述恒温槽的内部而支承所述测量对象物；标准量规支承台，其设置在所述恒温槽的内部而支承所述标准量规；三维测量机，能从所述测量用开口向所述恒温槽的内部导入该三维测量机的测量探针，在所述恒温槽的内部将所述测量对象物以及所述标准量规支承为平行，将所述恒温槽的内部温度设为第1温度，将从所述第1基准表面到所述第2基准表面的长度作为基准，比较测量从所述第1表面到所述第2表面的长度，将所述恒温槽的内部温度设为第2温度，将从所述第1基准表面到所述第2基准表面的长度作为基准，比较测量从所述第1表面到所述第2表面的长度，根据所述第1温度下的从所述第1表面到所述第2表面的长度和所述第2温度下的从所述第1表面到所述第2表面的长度，算出所述测量对象物的线膨胀系数。