[发明专利]电磁驱动微镜的扫频建模方法及系统

摘要

本发明公开了一种电磁驱动微镜的扫频建模方法及系统，该扫频建模方法包括：采集输入输出数据，对电磁驱动微镜输入幅值一定、频率从低到高若干组正弦信号，测量并记录输出信号；分析输入输出数据，对照输入信号和输出信号，统计各频率点系统的幅值增益、相位变化，绘制电磁驱动微镜系统的伯德图；分析输入输出数据，将电磁驱动微镜系统的伯德图与标准N阶系统模型伯德图对比，确定电磁驱动微镜实际系统模型；系统模型有效性验证，分别通过静态特性分析和动态特性分析验证系统模型是否与实际系统接近。该电磁驱动微镜建模方法能够观察系统全频段的幅值、相位响应；确定系统的阶次，获得系统的共振频率、阻尼等参数，模型准确性高。

主权项

1.一种电磁驱动微镜的扫频建模方法，其特征在于，所述扫频建模方法包括：S1、采集输入输出数据；对电磁驱动微镜输入幅值一定、频率从低到高若干组正弦信号，测量并记录输出信号；S2、分析输入输出数据；对照输入信号和输出信号，统计各频率点系统的幅值增益、相位变化，其中幅值增益为输出信号幅值/输入信号幅值，相位变化为输出信号相位减去输入信号相位，然后绘制电磁驱动微镜系统的伯德图，所述伯德图包括幅频曲线和相频曲线；S3、确定系统模型；将电磁驱动微镜系统的伯德图与标准N阶系统模型伯德图对比，确定电磁驱动微镜实际系统模型；其中，所述步骤S3、确定系统模型具体包括：S31、判断系统阶次，然后不断调节标准N阶系统参数，并画出对应伯德图；S32、当标准N阶系统与实际系统伯德图拟合程度达到相似标准时，标准N阶系统传递函数即为所求电磁驱动微镜实际系统模型；S4、系统模型有效性验证；分别通过静态特性分析和动态特性分析验证系统模型是否与实际系统接近，若均接近，则判定系统模型有效；其中，所述步骤S4、系统模型有效性验证具体包括：S41、静态特性分析，通过静态输入输出关系与实验数据对比验证系统模型是否与实际系统接近；S42、动态特性分析，通过阶跃响应调节时间、超调量以及振荡次数对比验证系统模型与实际系统接近。