[发明专利]一种可实时图像拍摄的旋涂仪转子有效

专利信息
申请号: 201610851460.4 申请日: 2016-09-27
公开(公告)号: CN106622878B 公开(公告)日: 2020-01-17
发明(设计)人: 王雪飞;丁琨 申请(专利权)人: 中国科学院大学
主分类号: B05C11/00 分类号: B05C11/00
代理公司: 11388 北京市中闻律师事务所 代理人: 蒋玉
地址: 100049 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种可实时图像拍摄的旋涂仪转子,所述可实时图像拍摄的旋涂仪转子将摄像头固在底座上方,底座由电动机带动旋转。因此,即使在高速旋转时摄像头与底座间仍保持相对静止,固定于底座上表面的载片上所发生的行为,如胶液的展开、离心、浓缩、结晶,可以被位于其上方的摄像头拍摄下来,而这些行为的快慢和剧烈程度均可作为优化旋涂参数的依据,如转速、浓度、温度、溶剂种类、溶质种类,也开辟了一种深入研究物质性质的途径。
搜索关键词: 一种 实时 图像 拍摄 旋涂仪 转子
【主权项】:
1.一种可实时图像拍摄的旋涂仪转子,其特征在于,所述可实时图像拍摄的旋涂仪转子设置有底座;所述底座固定在电动机转轴上,由电动机带动旋转;/n摄像头通过支架固定在底座的上方;/n所述支架上固定有光源;/n所述摄像头以无线方式向计算机传输数据并接受控制,用于实时观察胶液变化;/n所述摄像头将数据存储在自带的存储器内;/n所述摄像头前安装有一微距光学镜头;/n所述摄像头前安装有一显微镜物镜;/n所述摄像头与底座间的距离可调;/n所述底座和支架的材质是铝合金、不锈钢、聚四氟乙烯、有机玻璃中的任意一种;/n所述光源是LED贴片,与摄像头共用一个电源;/n所述可实时图像拍摄的旋涂仪转子,实现对高速旋转的载片上胶液的展开、离心、浓缩、结晶一系列行为进行图像拍摄和实时监控。/n
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