[发明专利]一种三明治对位图形转移工艺在审
| 申请号： | 201610851480.1 | 申请日： | 2016-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN106527067A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 夏玉龙;杨海涛 | 申请（专利权）人： | 昆山维嘉益材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司32234 | 代理人： | 徐萍 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种三明治对位图形转移工艺，包括以下具体步骤制作底片、架底片、三明治对位、上板定位、曝光和下板。通过上述方式，本发明提供一种三明治对位图形转移工艺，针对现有对位工艺易造成层间错位和偏移的问题，本发明采用4～6个蝶形十字靶标孔，能实现高精度的三明治对位，极大提高生产效率，同时免去对位设备的采购成本，提高生产利润。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三明治 对位 图形 转移 工艺 | ||
【主权项】：
一种三明治对位图形转移工艺，其特征在于，包括以下具体步骤：a、制作底片，在底片BOT面边缘绘制4～6个蝶形靶标，在底片TOP面边缘绘制4～6个与BOT面的蝶形靶标大小和位置相适应的蝶形靶标孔；b、架底片，将底片TOP面层叠于BOT面之上；c、三明治对位，将底片上绘制的蝶形靶标对位至蝶形靶标孔内后对底片进行固定；d、上板定位，在底片TOP面与BOT面之间夹入SUS材料定位；e、曝光和下板，将定位完成的底片进行曝光处理后将SUS材料下板。
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