[发明专利]一种电磁真空退火炉

摘要

本发明公开了一种电磁真空退火炉，包括真空腔体及位于真空腔体内的样品架，还包括位于所述真空腔体内的隔热屏、至少一组红外灯管组件和两块用于产生磁场的磁极，所述样品架和所述红外灯管组件位于所述隔热屏内，两块所述磁极位于所述隔热屏外且对称布置于所述样品架两侧，本发明具有升降温速率快、污染小、加热过程不影响腔体内磁场分布等优点。

主权项

1.一种电磁真空退火炉，包括真空腔体（1）及位于真空腔体（1）内的样品架（2），其特征在于：还包括位于所述真空腔体（1）内的隔热屏（3）、至少一组红外灯管组件（4）和两块用于产生磁场的磁极（5），所述样品架（2）和所述红外灯管组件（4）位于所述隔热屏（3）内，两块所述磁极（5）位于所述隔热屏（3）外且对称布置于所述样品架（2）两侧，所述隔热屏（3）包括一对平板（31）和一对圆弧板（32），一对平板（31）位于两块磁极（5）之间，圆弧板（32）两端分别与一块平板（31）连接，所述红外灯管组件（4）设有两组并对称布置于样品架（2）两侧，两组红外灯管组件（4）位于一对圆弧板（32）之间，红外灯管组件（4）包括多根红外灯管（41），各红外灯管（41）中心至所述样品架（2）中心的距离相等，且相邻两根红外灯管（41）之间的中心距距离相等。