[发明专利]一种激光干涉仪用的稳频装置和方法

摘要

本发明提供了一种激光干涉仪用的稳频装置，包括电路控制系统、激光器、导向光路、稳频光路和激光输出光路，其中，所述导向光路将所述激光器射出的光导向到所述稳频光路，所述稳频光路包括第一分光镜、第二分光镜和光电池。本发明还提供了一种激光干涉仪用的稳频方法。本发明的有益效果是通过稳频分光的设计，使得激光器中用于稳频的光所占比例非常少，使得稳频部分的能量损失极小，极大的增加了用于工作的激光强度，并且第一分光镜的角度和尺寸的设计可以大大减少杂散光对稳频精度的影响；稳频分光调节更为方便，结构简单易行，并且结构紧凑，易于机械封装；采用对称的光学和电子设计，可以确保稳频数据的精度和可靠性。

主权项

一种激光干涉仪用的稳频装置，其特征在于：包括电路控制系统、激光器、导向光路、稳频光路和激光输出光路，其中，所述导向光路将所述激光器射出的光导向到所述稳频光路，所述稳频光路包括第一分光镜、第二分光镜和光电池，所述第一分光镜将所述导向光路输出的光分为反射光线和透射光线，所述反射光线射入所述第二分光镜，所述第二分光镜将所述反射光线按S振动模式和P振动模块分为S光和P光，所述S光和P光分别射入所述光电池，所述电路控制系统分别与所述激光器、光电池相连接，所述电路控制系统根据所述光电池反馈的S光和P光的光强，控制所述激光器的稳频腔体的腔长，从而达到稳频的作用，所述透射光线射入所述激光输出光路进行工作输出。