[发明专利]显示面板、显示装置、阵列基板及其制作方法

摘要

本申请公开了一种显示面板、显示装置、阵列基板及其制作方法，其中，所述阵列基板的制作方法包括：提供第一基板，所述第一基板表面具有像素驱动膜层以及位于所述像素驱动膜层背离所述第一基板表面的平坦层；对所述平坦层进行减薄处理，形成凹槽；在所述平坦层背离所述第一基板一侧依次形成导电层和钝化层；在所述钝化层与所述凹槽对应区域进行刻蚀，形成通孔，所述通孔贯穿所述钝化层和其他平坦层；在钝化层背离第一基板一侧表面形成通过凹槽和通孔与像素驱动膜层连接的像素电极层。所述阵列基板的制作方法避免了在对平坦层和钝化层的同时刻蚀过程中可能出现的钝化层完全去除、平坦层出现垂直刻蚀、光刻胶的涂覆均一性差以及光刻胶浪费的问题。

主权项

1.一种阵列基板的制作方法，其特征在于，包括：提供第一基板，所述第一基板表面具有像素驱动膜层以及位于所述像素驱动膜层背离所述第一基板表面的平坦层；对所述平坦层进行减薄处理，形成凹槽，所述凹槽深入部分所述平坦层；在所述平坦层背离所述第一基板一侧依次形成导电层和钝化层；在所述钝化层与所述凹槽对应区域进行刻蚀，形成通孔，所述通孔贯穿所述钝化层和剩余所述平坦层，所述通孔在所述第一基板上的投影位于所述凹槽在所述第一基板上的投影内；在所述钝化层背离所述第一基板一侧表面形成像素电极层，所述像素电极层通过所述凹槽和通孔与所述像素驱动膜层连接。