[发明专利]具有高反射率内壁的微孔光学元件及其制备方法有效
| 申请号： | 201610856017.6 | 申请日： | 2016-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN106548821B | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 金戈;邱祥彪;丛晓庆;张正君;王健;张智勇;赵慧民;李婧雯;孙赛林;裴晶 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G21K1/06 | 分类号： | G21K1/06;C23C16/40;C23C16/18;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司11429 | 代理人： | 王菊花 |
| 地址： | 650200 *** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有高反射率内壁的微孔光学元件及其制备方法，该微孔光学元件为密集排布的方形微孔曲面阵列，使用原子层沉积技术在方形微孔内壁沉积复合薄膜，该复合薄膜的材料种类和复合结构经过合理的设计，能够提高X射线在微孔光学元件的通道内壁的反射率，通过这种方法，能够大幅度的提升微孔光学元件的聚焦性能，从而提升器件对于微弱X射线信号的探测精度与效率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 反射率 内壁 微孔 光学 元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有高反射率内壁的微孔光学元件，其特征在于，包括作为基底的密集排列的方形微孔曲面阵列，以及在所述方形微孔曲面阵列的方形微孔内壁表面覆盖的复合薄膜；所述复合薄膜由两种材料通过一定的方式形成复合结构，其中，材料层A为氧化铝，材料层B为金属，包括金属铂Pt与金属镍Ni中的一种；所述复合结构为材料层A和材料层B的周期叠层结构ABAB…ABAB，其中A层厚度包括5nm、10nm和20nm，其中B层厚度包括5nm，10nm，叠层次数包括5次、10次和20次。
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