[发明专利]一种对射式多焦点激光分离脆性透射材料方法及装置

摘要

本发明公开了一种对射式多焦点激光分离脆性透射材料方法及装置，该方法采用相同的工艺参数，在待分离脆性透射材料的厚度方向两侧，每侧利用同轴激光分别穿过多焦点镜片组并反向对射，使脆性透射材料内部产生的焦点数量加倍，以改善脆性透射材料沿厚度方向上对激光能量吸收的均匀性，使脆性透射材料沿厚度方向的受热膨胀均匀性增强，激光多焦点光束离开后，沿脆性透射材料厚度方向迅速冷却而产生拉应力，实现激光对厚脆性透射材料的分离。装置包括两套多焦点激光加工系统和一台三维工作平台；其中每套多焦点激光加工系统均包括激光器、导光镜、扩束镜和一组多焦点镜片组。本发明实现了激光对厚脆性透射材料的高质量、高效率、高成功率的分离。

主权项

一种对射式多焦点激光分离脆性透射材料的方法，其特征在于，该方法采用相同的工艺参数，在待分离脆性透射材料的厚度方向两侧，每侧均采用同光轴激光反向对射，分别在脆性透射材料内部产生多个激光焦点，两侧同光轴激光反向对射使脆性透射材料内部产生的焦点数量加倍，以改善脆性透射材料沿厚度方向上对激光能量吸收的均匀性，使脆性透射材料沿厚度方向的受热膨胀均匀性增强，激光多焦点光束离开后，沿脆性透射材料厚度方向迅速冷却而产生拉应力，实现激光对厚脆性透射材料的分离；所述多个激光焦点是将激光器输出的激光通过多焦点镜片组产生的，该多焦点镜片组由一块常规聚焦镜及至少二块中心带有不同直径小孔且焦距不同的聚焦镜组成产生，或者由至少三块不同直径和焦距的聚焦镜组成，各聚焦镜的直径依次递减。