[发明专利]基于CCD探测器的龙虾眼X射线光学元件聚焦性能测试装置与方法

摘要

本发明提供一种基于CCD探测器的龙虾眼X射线光学元件聚焦性能测试装置，包括X射线光管、激光器、光阑、六维调整装置、CCD探测器、激光测距仪、模数转换卡、数模转换卡、水平调整装置以及计算机信号处理系统。在操作测试时，首先进行光路校准，校准后移出激光器将所述X射线光管移至光路中；调整所述龙虾眼X射线光学元件进行MPO全口径二维扫描，CCD X射线探测器记录成像结果，通过对记录图像进行拼接和处理，得到焦距、焦斑、光强分布和空间角分辨率等多个聚焦性能指标。本发明的测试装置的结构巧妙、实时性好、测试成本低，操作方便。

主权项

1.一种基于CCD探测器的龙虾眼X射线光学元件聚焦性能测试装置，其特征在于，包括X射线光管、激光器、光阑、六维调整装置、CCD探测器、激光测距仪、模数转换卡、数模转换卡、水平调整装置以及计算机信号处理系统，其中：所述X射线光管、激光器布置在同一竖直方向的不同位置上，并且位置可调节地安装在水平调整装置上；所述光阑、龙虾眼X射线光学元件、CCD探测器放置在同一光轴上，并且所述X射线光管、激光器均位置可调节地与光阑、龙虾眼X射线光学元件以及CCD探测器共光轴；所述六维调整装置用于提供所述龙虾眼X射线光学元件的调整平台；所述激光测距仪设置在CCD探测器的下方，并且朝向所述龙虾眼X射线光学元件的方向，用于探测龙虾眼X射线光学元件与该激光测距仪的距离；所述模数转换卡与激光测距仪连接，用于对所述距离测量结果进行模数转换；所述计算机信号处理系统连接至所述模数转换卡，根据所述距离发出控制信号调整六维调整装置的位置和状态使CCD探测器保持处于龙虾眼X射线光学元件的焦距位置处，使龙虾眼X射线光学元件聚焦效果最明显；所述数模转换卡设置在计算机信号处理系统与六维调整装置之间，用于对所述控制信号进行数模转换以使所述六维调整装置运动；所述水平调整装置还经由所述数模转换卡连接至所述计算机信号处理系统，并根据计算机信号处理系统的校准信号控制水平调整装置以实现X射线光管与激光器的布置位置的切换。