[发明专利]一种喷雾片的制作方法

摘要

本文公开了一种喷雾片的制作方法，包括如下步骤：(1)基片准备；(2)涂胶；(3)掩膜制作；(4)基片无掩膜面的绝缘；(5)电解加工微坑阵列；(6)掩膜剥离；(7)粘结剂填充；(8)金属层电沉积；(9)剥离喷雾片。本发明的喷雾片的制作方法在于提出了一种电铸模仁可反复使用、喇叭孔成形精度高和尺寸一致性好的喷雾片制作方法。

主权项

1.一种喷雾片的制作方法，它包括如下步骤：(1)选用不锈钢片为基片，并对基片表面进行研磨、抛光、除油、清洗和干燥处理；(2)在基片上均匀涂覆一层厚0.5~2μm的光刻胶；(3)对光刻胶进行前烘、曝光、显影、后烘处理，以在基片一面形成含有直径为20‑80μm微孔阵列的掩膜；(4)在基片的另一面形成一层电绝缘层；(5)把含有掩膜和电绝缘层的基片浸入电解液或刻蚀液中，对基片进行电化学刻蚀或化学刻蚀加工，以在基片上形成微坑阵列；(6)当微坑的直径为30‑120μm、深为10‑50μm时停止加工，然后把掩膜剥离去除掉；(7)在微坑中填充具有电绝缘性的粘结剂，然后对干燥后的粘结剂进行整平、打磨、抛光处理，最终使微坑内粘结剂的表面与基片表面平齐并在同一个平面上；(8)以经步骤(1)~(7)处理后的基片为阴极进行电沉积金属层；(9)当电沉积金属层达到要求的厚度时，停止电沉积，并把电沉积金属层从基片上剥离，电沉积金属层经去胶操作后，形成最终的喷雾片；(10)不断重复步骤（8）和（9），可制作数个喷雾片。