[发明专利]修整器进气系统以及抛光机

摘要

本发明公开了一种修整器进气系统以及抛光机，修整器进气系统包括：真空源；与真空源相连的真空管路；压缩空气源；与压缩空气源相连的压缩空气管路；压缩空气控制阀，压缩空气控制阀用于调节压缩空气管路输出的压缩空气压力；修整器，修整器形成有加载腔室，加载腔室选择性地与真空管路和压缩空气管路相连；压力传感器，压力传感器用于检测加载腔室的压力；控制器，控制器根据压力传感器的检测结果通过压缩空气控制阀调节压缩空气管路输出的压缩空气压力。这样可以使得修整器压力控制精确，精确的压力控制可以使得修整器对抛光垫进行适当的修整，从而可以改善抛光效果。

主权项

1.一种修整器进气系统，其特征在于，包括：真空源；真空管路，所述真空管路与所述真空源相连；压缩空气源；压缩空气管路，所述压缩空气管路与所述压缩空气源相连；压缩空气控制阀，所述压缩空气控制阀设置在所述压缩空气管路上以调节所述压缩空气管路输出的压缩空气压力；修整器，所述修整器包括修整头，所述修整头形成有加载腔室，所述修整头内的加载腔室具有三个进气口，所述三个进气口分别供真空、压缩气体和大气进入，所述加载腔室选择性地与所述真空管路和所述压缩空气管路相连；压力传感器，所述压力传感器用于检测所述加载腔室的压力；控制器，所述控制器分别与所述压力传感器和所述压缩空气控制阀相连以根据所述压力传感器的检测结果通过所述压缩空气控制阀调节所述压缩空气管路输出的压缩空气压力；总管路和第一控制阀，所述总管路连接在所述第一控制阀和所述修整器之间，所述第一控制阀设置成用于将所述总管路选择性地连通所述真空管路和压缩空气管路；第二控制阀，所述第二控制阀适于控制大气源和所述总管路之间的通断，所述第二控制阀设置在所述总管路上且与所述第一控制阀串联，其中，在所述加载腔室处于初始状态时，所述加载腔室与大气相通。