[发明专利]一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置和密封方法

摘要

本发明公开了一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置及其密封方法，该装置包括矩形上法兰、矩形下法兰、矩形密封盒体、矩形整体轮廓的密封结构、压紧螺钉、待密封系统安装螺钉、矩形截面待密封系统，其中，矩形截面待密封系统容纳于矩形密封盒体，并采用待密封系统安装螺钉固定，矩形上法兰和矩形下法兰经由矩形整体轮廓的密封结构相配合、由压紧螺钉压紧，实现密封。本发明采用弹性金属完成密封，所需预紧力小，在同等压力下相对实心金属密封圈所需压紧螺栓数量少，安装方便，适用于密封截面较大的矩形真空装置密封，并且密封圈可以重复使用。

主权项

1.一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置，包括矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)、矩形密封盒体(3)、矩形整体轮廓的密封结构、压紧螺钉、待密封系统安装螺钉、矩形截面待密封系统，其中，矩形截面待密封系统容纳于矩形密封盒体(3)，并采用待密封系统安装螺钉固定，矩形上法兰(1)和矩形下法兰(2)经由矩形整体轮廓的密封结构相配合、由压紧螺钉压紧，实现密封，所述矩形整体轮廓的密封结构采用弹性金属压紧密封结构，并通过平面将弹性金属密封圈在密封槽(5)内挤压变形，其特征在于，矩形整体轮廓的密封结构(4)的拐角处，采用过渡圆弧结构，过渡圆弧半径大于20mm，弹性金属密封圈表面镀软金属层，弹性金属密封圈采用O型弹性金属矩形密封结构，O型弹性金属密封圈(4)横截面为环形中空结构，对压力方向没有选择性，密封槽(5)底面两边进行圆角处理，或者弹性金属密封圈采用一层C型弹性金属矩形密封结构，或者采用双层C型弹性金属密封圈密封结构，在采用双层C型弹性金属密封圈密封结构时，双层密封槽分为内密封槽(8)和外密封槽(10)，分别安装内C型弹性金属密封圈(7)和外C型弹性金属密封圈(9)，两只密封圈开口方向相反；所述弹性金属密封装置的氦气漏率优于5×10‑11Pam3/s，所需预紧力小，能重复使用。