[发明专利]一种真空环境中的矩形密封装置和密封方法

摘要

本发明公开了一种真空环境中的矩形密封装置和密封方法，该装置包括矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)、矩形密封盒体(3)、矩形整体轮廓的密封结构(4)、压紧螺钉(5)、待密封系统安装螺钉(6)、矩形截面待密封系统(7)，其中，矩形截面待密封系统(7)容纳于矩形密封盒体(3)，并采用待密封系统安装螺钉(6)固定，矩形上法兰(1)和矩形下法兰(2)经由矩形整体轮廓的密封结构(4)相配合、由压紧螺钉(5)压紧。本发明通过设计矩形密封结构，解决密封装置内部空间利用率低，密封装置外部体积大、重量大、不便于移动及安置等问题，密封效果好，氦气漏率优于5×10‐11Pam3/s。

主权项

1.一种真空环境中的矩形密封装置，包括矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)、矩形密封盒体(3)、矩形整体轮廓的密封结构(4)、压紧螺钉(5)、待密封系统安装螺钉(6)、矩形截面待密封系统(7)，其中，矩形截面待密封系统(7)容纳于矩形密封盒体(3)，并采用待密封系统安装螺钉(6)固定，矩形上法兰(1)和矩形下法兰(2)经由矩形整体轮廓的密封结构(4)相配合、由压紧螺钉(5)压紧，其特征在于，矩形整体轮廓的密封结构(4)的拐角处，采用过渡圆弧结构，过渡圆弧半径大于10mm，矩形整体轮廓的密封结构(4)采用直角尖端对顶密封结构，两个90°的直角尖端(8)对顶压紧金属垫片(9)，金属垫片(9)采用退火无氧铜、铝、银中的一种，或者矩形整体轮廓的密封结构(4)采用斜边互压密封结构，两个90°直角的直角边(10)将金属丝(11)挤压变形，金属丝(11)采用退火无氧铜、铝、银、锡、铟、金中的一种，提供优于5×10‑11Pam3/s的密封性能；矩形整体轮廓的密封结构(4)采用平面压紧密封结构，所述平面将密封圈(12)在密封槽(13)内挤压变形；对于密封装置漏率要求较低的密封，密封圈(12)选用聚合物材料。