[发明专利]运动台驱动装置在审
| 申请号： | 201610862123.5 | 申请日： | 2016-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN107885036A | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 张霖;胡兵;季汉川 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种运动台驱动装置，用于向所述运动台提供驱动力。所述运动台驱动装置包括驱动粗动台运动的长行程电机组和驱动微动台运动的短行程电机组；还包括磁阻电机组和微动台控制模块。所述磁阻电机组用于为所述微动台加、减速度提供推力；所述微动台控制模块通过一闭环反馈通道控制所述短行程电机组出力和通过一开环前馈通道控制所述磁阻电机组出力。解决现有的粗、微动台响应速度不够的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 运动 驱动 装置 | ||
【主权项】：
一种运动台驱动装置，所述运动台包括粗动台和微动台，所述驱动装置包括驱动所述粗动台运动的长行程电机组和驱动所述微动台运动的短行程电机组，其特征在于，所述驱动装置还包括：磁阻电机组，用于为所述微动台加、减速度提供推力；以及微动台控制模块，通过一闭环反馈通道控制所述短行程电机组出力和通过一开环前馈通道控制所述磁阻电机组出力。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司，未经上海微电子装备（集团）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610862123.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
