[发明专利]压力传感器、高度计、电子设备以及移动体在审
申请号: | 201610862820.0 | 申请日: | 2016-09-28 |
公开(公告)号: | CN106556489A | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 金本阳子 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00;G01C5/06 |
代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司11225 | 代理人: | 苏萌萌,范文萍 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种能够减小由于压力传感器元件的朝向而造成的检测结果的偏差的压力传感器、具备该压力传感器的可靠性较高的高度计、电子设备以及移动体。压力传感器(1)具有封装件(2),其具备空腔(24);压力传感器元件(3),其被配置在空腔(24)内;填充材料(5),其对压力传感器元件(3)进行覆盖。此外,压力传感器元件(3)具有隔膜(3111)和空洞部(34),其中,隔膜(3111)具有受压面(3111a),在受压面(3111a)的法线方向(Z)上,在包括压力传感器元件(3)的下表面(3b)的第一假想面(SF1)与包括上表面(3a)的第二假想面(SF2)之间,存在有填充材料(5)的在法线方向(Z)上的中点(O1)。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 高度计 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】:
一种压力传感器,其特征在于,具有:封装件,其具备空腔;压力传感器元件,其被配置在所述空腔内;填充材料,其被配置在所述空腔内,并对所述压力传感器元件进行覆盖,所述压力传感器元件具有隔膜和压力基准室,其中,所述隔膜具有受压面,所述压力基准室相对于所述隔膜而被配置在与受压面相反的一侧,在所述受压面的法线方向上,在包括所述压力传感器元件的所述受压面侧的端面的第一假想面与包括所述压力传感器元件的所述压力基准室侧的端面的第二假想面之间,存在有所述法线方向上的所述填充材料的两端之间的中点。
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