[发明专利]多相单向叉指换能器的制作方法

摘要

本发明涉及一种多相单向叉指换能器的制作方法，属于微电子器件工艺技术领域，通过本发明，在压电基片表面制作若干组相互交错的叉状指电极，组成多相单向叉指换能器的若干个叉指电极周期，各个叉指电极周期中相同位置的指电极连接到同一汇流电极组成同组叉状指电极，每个叉指电极周期中不同位置的指电极连接到不同的汇流电极组成不同组叉状指电极，与非同组汇流电极交叠的指电极相对于汇流电极隔断，隔断区覆盖绝缘隔离层，绝缘隔离层上制作重新连接被隔断指电极的跨接电极，绝缘隔离层和跨接电极的制作采用介质和金属剥离的方法，避免常规的蚀刻工艺对敏感的压电基片表面和金属电极的损伤及由此带来的对声表面波器件性能的影响。

主权项

1.一种多相单向叉指换能器的制作方法，其特征是，包含以下步骤：（1）在压电基片表面涂覆光刻胶胶膜，光刻仅去除N组叉状指电极的各个指电极及汇流电极所在处的光刻胶胶膜，其中与非同组汇流电极交叠的指电极相对于该汇流电极隔断；（2）将经步骤（1）表面制作有光刻胶胶膜结构的压电基片再覆盖金属膜；（3）去除涂覆于压电基片上的光刻胶胶膜，连同去除覆盖于光刻胶胶膜上的金属膜，仅保留上述无光刻胶胶膜区域的N组叉状指电极结构；（4）将经步骤（3）表面制作有上述N组叉状指电极结构的压电基片再次涂覆光刻胶胶膜，光刻仅去除包含上述指电极相对于汇流电极隔断区的条形区域的光刻胶胶膜；（5）将经步骤（4）表面制作有光刻胶胶膜结构的压电基片再覆盖绝缘介质层；（6）去除涂覆于压电基片上的光刻胶胶膜，连同去除覆盖于光刻胶胶膜上的绝缘介质层，仅保留上述无光刻胶胶膜的条形区域的绝缘介质层；（7）将经步骤（6）表面制作有上述金属膜和绝缘介质层结构的压电基片再次涂覆光刻胶胶膜，光刻仅去除上述条形绝缘介质层上的光刻胶胶膜；（8）蚀刻使条形绝缘介质层倒角，形成近似圆顶状的条形绝缘隔离凸台；（9）去除涂覆于压电基片上的光刻胶胶膜并重新涂覆光刻胶胶膜，光刻仅去除待制用于重新连接被隔断指电极的跨接电极所在处的光刻胶胶膜；（10）将经步骤（9）表面制作有光刻胶胶膜结构的压电基片再覆盖金属膜；（11）去除涂覆于压电基片上的光刻胶胶膜，连同去除覆盖于光刻胶胶膜上的金属膜，仅保留上述无光刻胶胶膜区域的连接被隔断指电极的跨接电极，得到N相单向叉指换能器，即多相单向叉指换能器。