[发明专利]一种紫外光探测器及其制备方法

摘要

一种紫外光探测器，该探测器的石英衬底和透明接触电极之间设有基于氧化镓/氧化锌核壳纳米棒结构层。其中接触电极为沉积在玻璃基底具有0.2cm沟道的ITO导电薄膜；基于氧化镓/氧化锌核壳纳米棒结构层是由ZnO纳米阵列籽晶层和生长于ZnO纳米阵列籽晶层表面的β‑Ga2O3层组成，该β‑Ga2O3层是由形貌为球形的纳米β‑Ga2O3晶体组成，该纳米β‑Ga2O3晶体的平均尺寸为30nm。该核壳纳米棒结构层是以ZnO纳米阵列为载体，采用硝酸镓和六次甲基四胺为原料，首先采用低温水溶液在ZnO表面生长GaOOH前驱体，然后高温加热制备β‑Ga2O3/ZnO核壳纳米棒结构。本发明制备方法简单、反应温度低并且制备出的产品对紫外光有着非常好的光响应。

主权项

一种紫外光探测器，其特征在于：该探测器的石英衬底和具有沟道的透明接触电极之间设有基于氧化镓/氧化锌核壳纳米棒结构层。