[发明专利]一种可在水中对MEMS微结构进行激励的聚焦激波激励装置

摘要

本发明公开了一种可在水中对MEMS微结构进行激励的聚焦激波激励装置，包括设在基板上的支座和椭球腔体，椭球腔体由下腔体和上腔体连接而成且内腔形成多半个椭球面；在下腔体内设有安装座，在安装座上端设有二个针电极；二个针电极针尖位于椭球面第一焦点处的横截面上；在支座上通过手动三轴位移台安装微结构单元，微结构单元位于椭球面的第二焦点处；针电极分别与高压电容的两极电联接，针电极针尖之间距离小于高压电容充分充电后在水中的最大空气击穿间隙；高压电容两极分别电联接至高压电源正负极。该装置不仅能够实现在水中对MEMS微结构进行激励，而且能够避免底座结构的振动响应对测试结果的干扰，实现了对微结构的非接触式激励，激励效果好。

主权项

一种可在水中对MEMS微结构进行激励的聚焦激波激励装置，包括基板，其特征是：在基板上设有支座和用于盛装水的椭球腔体，所述椭球腔体是由下腔体和上腔体密封连接而成，所述上腔体上端敞口使椭球腔体的内腔形成竖直布置的多半个椭球面，该椭球面的第一焦点位于下腔体内，第二焦点位于上腔体内；在下腔体底部的中心孔内密封连接有支撑座，支撑座上端插入到下腔体内，在支撑座上端连接有连接套，在连接套上通过螺纹连接有安装座，在安装座上端轴向对称设有二个斜孔，二个斜孔的轴线在安装座上方相交，在二个斜孔内分别设有外套绝缘套的针电极；所述安装座的轴线垂直于所述椭球面第一焦点处的横截面且穿过椭球面的第一焦点，二个针电极的针尖位于所述椭球面第一焦点处的横截面上；在所述支座上设有手动三轴位移台，在手动三轴位移台的Z轴溜板上通过一个悬垂吊架安装有微结构单元，微结构单元插入到上腔体内且位于椭球面的第二焦点处；该微结构单元包括与悬垂吊架下端连接的固定板，在固定板的中心设有阶梯状安装孔，在安装孔内可拆卸安装有微结构安装板，在微结构安装板上设有MEMS微结构；二个针电极分别与高压电容的两极电联接，在高压电容与一个针电极之间设有第一空气开关，二个针电极的针尖之间的距离小于高压电容充分充电后在水中的最大击穿间隙；所述高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极，并通过第二空气开关控制通断。