[发明专利]物联网中的传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201610867497.6 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN106959324A | 公开（公告）日： | 2017-07-18 |
| 发明（设计）人： | 雷明达;朱家骅;蒋昕志;陈东村;郑钧文 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明的一些实施例提供了一种物联网中的气体传感器。气体传感器包括：衬底；设置在衬底的上方的导体；以及设置在导体的上方的感测膜。导体具有包括多个开口的顶视图图案，开口的最小尺寸小于约4微米，并且周界围绕开口。本发明的一些实施例提供了一种制造气体传感器的方法。该方法包括接收衬底；在衬底的上方形成导体；通过蚀刻操作来图案化导体以在导体中形成多个开口，以及在导体上方形成气体感测膜。开口以重复图案布置，并且开口的最小尺寸为大约4微米。 | ||
| 搜索关键词： | 联网 中的 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种物联网中的气体传感器，包括衬底；导体，设置在所述衬底的上面，所述导体包括顶视图图案，所述顶视图图案包括：多个开口，所述开口的最小尺寸小于大约4微米；和周界，包绕所述开口；以及感测膜，设置在所述导体的上方。
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