[发明专利]用于多晶硅片制绒的添加剂及其应用方法在审
| 申请号： | 201610867760.1 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN106222755A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 夏庆华;斯小阳;姚伟明 | 申请（专利权）人： | 杭州飞鹿新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州裕阳专利事务所(普通合伙)33221 | 代理人： | 冯燕青 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市滨*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于多晶硅片制绒的添加剂及应用该添加剂进行制绒的方法，所述添加剂包括以下组分：高分子羧酸、小分子有机酸、非离子表面活性剂和水；其中高分子羧酸与水的重量比为0.5~5:100，小分子有机酸与水的重量比为1~10:100，非离子活性剂与水的重量比为0.01~1:100。使用本发明的添加剂进行制绒，可以提升绒面的均匀性，进而降低多晶硅片反射率，而且不会出现硅片表面污染和绒面内部多孔硅等副作用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 多晶 硅片 添加剂 及其 应用 方法 | ||
【主权项】：
用于多晶硅片制绒的添加剂，其特征在于，所述添加剂包括以下组分：高分子羧酸、小分子有机酸、非离子表面活性剂和水；其中高分子羧酸与水的重量比为0.5~5:100，小分子有机酸与水的重量比为1~10:100，非离子活性剂与水的重量比为0.01~1:100。
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