[发明专利]一种直通式压电喷墨打印头及其制造方法

摘要

本公开揭示一种直通式压电喷墨打印头及其制造方法，所述直通式压电喷墨打印头由压电致动器、振动板和腔体结构层构成；墨水入口、腔体和喷孔形成于腔体结构层。压电致动器由压电陶瓷薄膜以及上、下电极组成，形成于振动板表面，分别与腔体对应，用于向各腔体施加驱动力，所述振动板用于传递压电致动器的振动。该直通式压电喷墨打印头腔体结构和喷孔形成于一层硅片上，喷孔位于硅片的侧面，即喷孔的轴线与腔体的长度方向重合，使得打印头在平行于打印基底方向上的截面积减小，有利于多个打印头拼接，同时在腔体结构层的两面都制造腔体，使喷孔数量增加了一倍，因此该直通式压电喷墨打印头可用于高宽幅打印机，提高其工作效率。

主权项

1.一种直通式压电喷墨打印头，其特征在于，所述打印头包括：腔体结构层，压电致动器和振动板；所述腔体结构层用于提供墨水流动的通道，所述腔体结构层包括：墨水入口、腔体和喷孔，所述腔体结构层由一层硅片制成，硅片的两个表面都有腔体，喷孔的轴线与腔体的长度方向重合；所述压电致动器用于产生墨滴生成所需的振动，所述压电致动器包括：上电极、压电陶瓷薄膜和下电极；所述上电极通过丝网印刷浆料形成于压电陶瓷薄膜的上层；所述压电陶瓷薄膜通过丝网印刷浆料形成于所述下电极的上层，并通过溶胶‑凝胶法使浆料形成薄膜，利用逆压电效应，使压电陶瓷薄膜通电之后产生振动，通过振动板传递给腔体结构层，从而产生墨滴，所述下电极通过磁控溅射铂形成于所述振动板的表面，所述压电陶瓷薄膜通过在所述上电极与下电极之间通入高压电进行极化，极化电场强度为1.0‑2.5KV/mm，极化温度为100‑150℃，极化时间为5‑30min；所述振动板用于传递压电致动器产生的振动到腔体结构层内，所述振动板为厚度是20μm至50μm的硅片，且通过硅硅键合工艺与腔体结构层相结合。