[发明专利]一种应用于扫描电镜中的加热装置

摘要

本发明提供了一种应用于扫描电镜中的加热装置，该装置包括样品坩埚、加热芯陶瓷、电热丝、热辐射屏蔽结构，样品坩埚布置于所述加热芯陶瓷的上端；电热丝以双螺旋的形式缠绕于所述加热芯陶瓷表面，且对加热芯陶瓷加热，电热丝的材料为掺杂钨丝；热辐射屏蔽结构包括内不锈钢屏蔽层、次外不锈钢屏蔽层、外不锈钢屏蔽层、上不锈钢屏蔽层、次上不锈钢屏蔽层以及屏蔽底座；内不锈钢屏蔽层、次外不锈钢屏蔽层、外不锈钢屏蔽层层与层之间均为真空，上述三层的直径比例由热损失方程确定。本发明提供的加热装置加热效率高、体积小、屏蔽效果好，克服了现有技术中加热装置影响扫描电正常工作的缺陷。

主权项

一种应用于扫描电镜中的加热装置，其特征在于，所述装置包括：样品坩埚、加热芯陶瓷、电热丝、热辐射屏蔽结构，所述样品坩埚布置于所述加热芯陶瓷的上端；所述电热丝以双螺旋的形式缠绕于所述加热芯陶瓷外表面，且对所述加热芯陶瓷加热，所述电热丝的材料为掺杂钨丝；所述热辐射屏蔽结构包括周向屏蔽结构和轴向屏蔽结构，所述周向屏蔽结构包括内不锈钢屏蔽层、次外不锈钢屏蔽层、外不锈钢屏蔽层，所述轴向屏蔽结构包括上不锈钢屏蔽层、次上不锈钢屏蔽层以及屏蔽底座；所述内不锈钢屏蔽层与所述次外不锈钢屏蔽层之间为真空，所述次外不锈钢屏蔽层与所述外不锈钢屏蔽层之间为真空；所述内不锈钢屏蔽层的直径、次外不锈钢屏蔽层的直径、外不锈钢屏蔽层的直径之间的比例由圆筒形热屏组的热损失方程计算得到，所述热损失方程为：Q=qπ·d1·n·K·hln(1+K1-0.5×K·n)]]>其中，Q为热量由所述内不锈钢屏蔽层内部到达所述外不锈钢屏蔽层的热量损失，q为所述内不锈钢屏蔽层内部的热量通过所述内不锈钢屏蔽层、次外不锈钢屏蔽层、外不锈钢屏蔽层三层不锈钢屏蔽层之后的单位热流，q的单位为千卡/米2·小时，d1为所述内不锈钢屏蔽层的直径，d1的单位为米，dn为所述外不锈钢屏蔽层的直径，dn的单位为米，n为周向屏蔽结构的层数，n等于3，h为所述内不锈钢屏蔽层、次外不锈钢屏蔽层、外不锈钢屏蔽层的平均高度。