[发明专利]铌锌酸铋微波介质薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201610873426.7 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN106495694A | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 董思远;李萌;高勇;郭如燕;艾玛尔·巴拉;王晓莉 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C04B35/495 | 分类号： | C04B35/495;C04B35/64;C04B35/622 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铌锌酸铋微波介质薄膜的制备方法，目的在于，在传统溶胶凝胶法的基础上，通过微波加热和微波烧结代替传统水浴加热和反应炉烧结，很大程度地缩减制备时间，得到用于微波调谐元器件的性能优异的Bi2(Zn1/3Nb2/3)2O7(BZN)介质薄膜，所采用的技术方案为，首先采用微波加热制备铌的柠檬酸水溶液，在铌的柠檬酸水溶液中加入乙二醇，然后制备锌的乙二醇溶液和铋的乙二醇溶液，其次将锌的乙二醇溶液和铋的乙二醇溶液加入到第一步的溶液中制得铋锌铌溶胶前躯体，将铋锌铌溶胶前躯体均匀覆盖在基板上，采用微波烧结得到具有类焦绿石结构的铌锌酸铋多层薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 铌锌酸铋 微波 介质 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
铌锌酸铋微波介质薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)根据Bi2(Zn1/3Nb2/3)2O7中Nb的化学计量比称取Nb2O5，将Nb2O5放入氢氟酸中进行微波加热使Nb2O5完全溶解，再在溶液中加入氨水，生成沉淀物，将滤出的沉淀物加入至柠檬酸水溶液中，得到铌的柠檬酸水溶液；2)向步骤1)得到的铌的柠檬酸水溶液中加入乙二醇，并加热搅拌得到溶液A备用；3)根据Bi2(Zn1/3Nb2/3)2O7中Zn的化学计量比称取硝酸锌，并将硝酸锌溶解于乙二醇溶液中，得到锌的乙二醇溶液；4)根据Bi2(Zn1/3Nb2/3)2O7中Bi的化学计量比称取硝酸铋，并将硝酸铋溶解于乙二醇溶液中，得到铋的乙二醇溶液；5)将锌的乙二醇溶液和铋的乙二醇溶液加入溶液A中加热搅拌，得到铋锌铌溶胶；6)将铋锌铌溶胶滴在基板上，用甩胶机甩胶，使铋锌铌溶胶均匀覆盖在基板上，加热干燥后得到单层薄膜并进行微波烧结；7)重复步骤6)若干次得到多层薄膜，将多层薄膜进行微波烧结后，即得到铌锌酸铋微波介质薄膜。
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